Struktuer fan piezoresistive sensor

Yn dizze sensor wurdt de wjerstân-strip yntegrearre op it monocrystalline Silicon-diapselproses om in silisomy-piezoresistive chip te meitsjen, en de perifery fan dizze chip is fêst yn 'e shell, en de elektrode-liedingen binne laat. Piezoresistive druk Sensor, ek bekend as Solid-State-druk Sensor, is oars as adressearing yndirekt de eksterne krêft om te fielen troch elastyske gefoelige eleminten, mar fielt de mjitten druk troch Silicon-diafragma.

Ien kant fan it silisium-diafragm is in hege druk holte mei hege druk dy't kommuniseart mei de mjitten druk, en de oare kant is in leechdruk holte mei lege drukkommers kommunisearjend mei de sfear. Yn 't algemien is it silisium-diafragma as sirkel as sirkel mei fêste perifitie, en de ferhâlding fan dikte is yn' e komprimêre argewaasje en de oare twa binne yn 'e tsjoenske stressône, dy't symmetrysk binne mei respekt foar it sintrum fan it diafragma.

Derneist binne d'r ek fjouwerkante silismindy-diafragma en silisiumkolum-sensor. De silisium silinal-sensor is ek makke fan wjerstân stripen troch fersprieding yn in bepaalde rjochting fan 'e silisium-planeen, en twa tensige stress wjerstannen en twa kompresive stress foar respaterive stressfetingspresjonearje in folsleine brêge.

Piezoresistive Sensor is in apparaat makke troch fersprieding ferset op it substraat fan Sementuctor materiaal neffens it piezoresistive effekt fan semiconductor materiaal. It substraat kin direkt wurde brûkt as mjittensensor, en de ferspriedingresistinsje is ferbûn yn 'e substraat yn' e foarm fan in brêge.

As de substraat wurdt deformeare troch eksterne krêft, sille de fersetswearden feroarje en de brêge sil it korrespondearjende unbalansearre útfier produsearje. De substraat (as diafragms) brûkt as piezoresistive sensors binne foaral silisium silisium wafels en Dútsk Wafers. Silicon Piezoresistive sensoren makke fan silisium wafels as gefoelige materialen hawwe oanlutsen, fral de piezoresistive sensoren foar it mjitten fan 'e hichte en snelheid binne de meast brûkt.