Motor druk Sensor 2cp3-68 1946725 foar Carter Excaavator

In metoade foar it tarieden fan in drukseesor, karakterisearre troch te bringen fan 'e folgjende stappen:

S1, it leverjen fan in wafel mei in eftergrûn en in foarkant oerflak; It foarmjen fan in piezoresistive strip en in swier doped kontaktpraat yn it foarste oerflak fan 'e wafel; It foarmjen fan in druk djipholte troch it eftergrûn fan 'e wafel te etsen;

S2, bonding fan in stipeblêd op 'e rêch fan' e wafel;

S3, produksje lead holes en metalen draden oan 'e foarkant fan' e wafel, en ferbine piezoresistive strips om in taratstien brêge te foarmjen;

S4, deponearje en it foarmjen fan in passivaasje-laach op it foarkant oerflak fan 'e wafel, en in diel iepenje fan' e passivaasje-laach om in metalen padgebiet te foarmjen. 2 De produksjemetoade fan 'e druk Sensor neffens claim 1, wêrtroch S1 spesifyk bestietspict: S11: SECIFISJE: SECISJE mei in eftergrûn en it definitearjen fan' e dikte fan in drukgefoelige film op 'e wafel; S12: ION-ymplantaasje wurdt brûkt op it foarkant fan 'e wafel, piezoresistive strips wurde produsearre troch in hege temperatuer-ferspriedingsproses, regio's binne swier doped; S13: deponearje en foarmje fan in beskermjende laach op it foarkant oerflak fan 'e wafel; S14: Eketsen en foarmjen fan in druk djipholte op 'e rêch fan' e wafel om in drukgefoelige film te foarmjen. 3. De produksjemetoade fan 'e drukgewoan neffens claim 1, wêrfan de wafel soi is.

Yn 1962, Tufte et al. Produsearre in piezoresistive druk Sensor mei diffusearre silisium piezoresistive strips en Silicon-filmstruktuer foar it earst en begon it ûndersyk op piezoresistive druk sensor. Yn 'e lette jierren 1960 en begjin jierren 1970, it uterlik fan trije technologyen, nammentlike aniSotropyske etchingtechnology, Ion ymplizy-technology en anodyske bondelechnology, dy't in wichtige rol spile yn it ferbetterjen fan' e prestaasjes fan 'e druk Sensor. Sûnt 1980's, mei de fierdere ûntwikkeling fan mikromachinearjende technology, litografy, ferspraat doping, ion implantation, de grutte fan 'e druk is ferbettere, en de útfier is heech en de prestaasjes is poerbêst. Tagelyk makket de ûntwikkeling en tapassing fan 'e applikaasje fan nije mikromachinearjende technology de filmdikte fan drukgewoan akkuraat kontroleare.