Motor druk sensor 2CP3-68 1946725 foar Carter graafmachine

In metoade foar it tarieden fan in druksensor, karakterisearre troch de folgjende stappen:

S1, it bieden fan in wafel mei in efterflak en in frontflak; It foarmjen fan in piezoresistive strip en in swier doped kontaktgebiet op 'e foarside fan' e wafel; It foarmjen fan in druk djippe holte troch it etsen fan it efterflak fan 'e wafel;

S2, bonding in stipe sheet op 'e rêch fan' e wafel;

S3, manufacturing lead gatten en metalen triedden oan 'e foarkant fan' e wafel, en ferbinen piezoresistive strips te foarmjen in Wheatstone brêge;

S4, deponearje en foarmje in passiveringslaach op 'e foarside oerflak fan' e wafel, en iepenje in diel fan 'e passiveringslaach om in metalen padgebiet te foarmjen. 2. De manufacturing metoade fan de druk sensor neffens oanspraak 1, wêrby't S1 spesifyk omfiemet de folgjende stappen: S11: it jaan fan in wafel mei in efterkant oerflak en in front oerflak, en it definiearjen fan de dikte fan in druk gefoelige film op 'e wafel; S12: ion implantation wurdt brûkt op 'e foarside oerflak fan' e wafel, piezoresistive strips wurde produsearre troch in hege-temperatuer diffusion proses, en kontakt regio binne swier doped; S13: deponearje en foarmje in beskermjende laach op 'e foarside oerflak fan' e wafel; S14: etsen en foarmje in druk djippe holte op 'e rêch fan' e wafel foar in foarm fan in druk gefoelige film. 3. De produksjemetoade fan 'e druksensor neffens claim 1, wêrby't de wafel SOI is.

In 1962, Tufte et al. makke in piezoresistive druk sensor mei diffuse silisium piezoresistive strips en silisium film struktuer foar de earste kear, en begûn it ûndersyk nei piezoresistive druk sensor. Yn 'e lette jierren 1960 en iere 1970 brocht it ferskinen fan trije technologyen, nammentlik silisium anisotropyske etstechnology, ionimplantaasjetechnology en anodyske bondingtechnology, grutte feroaringen yn' e druksensor, dy't in wichtige rol spile yn it ferbetterjen fan de prestaasjes fan 'e druksensor . Sûnt 1980, mei de fierdere ûntwikkeling fan micromachining technology, lykas anisotropic etsen, litografy, diffusion doping, ion ymplantaasje, bonding en coating, de grutte fan druk sensor is kontinu fermindere, de gefoelichheid is ferbettere, en de útfier is heech en de foarstelling is poerbêst. Tagelyk, de ûntwikkeling en tapassing fan nije micromachining technology meitsje de film dikte fan druk sensor sekuer kontrolearre.