De meast brûkte semiconductor druk sensor brûkt N-type silisium wafer as it substraat.As earste wurdt de silisiumwafel makke yn in elastysk stressdragend diel mei in bepaalde mjitkunde.By de stress-bearing diel fan 'e silisium wafel, fjouwer P-type diffusion wjerstannen wurde makke lâns ferskate crystal rjochtings, en dan in fjouwer-earm Wheatstone brêge wurdt foarme mei dizze fjouwer wjerstannen.Under de aksje fan eksterne krêft wurde de feroaringen fan fersetwearden elektryske sinjalen.Dizze wheatstone brêge mei druk effekt is it hert fan de druk sensor, dat wurdt meastal neamd piezoresistive brêge (lykas werjûn yn figuer 1).De skaaimerken fan piezoresistive brêge binne as folget: ① de wjerstân wearden fan de fjouwer earms fan de brêge binne gelyk (alle r0);② De piezoresistive effekt fan neistlizzende earms fan 'e brêge is gelyk yn wearde en tsjinoerstelde yn teken;③ De wjerstânstemperatuerkoëffisjint fan 'e fjouwer earms fan' e brêge is itselde, en se binne altyd op deselde temperatuer.Yn fig.1, R0 is de ferset wearde sûnder stress by keamertemperatuer;RT is de feroaring feroarsake troch de temperatuer koëffisjint fan wjerstân (α) as de temperatuer feroaret;Υ Rδ is de feroaring fan wjerstân feroarsake troch strain (ε);De útfierspanning fan 'e brêge is u = I0 Δ Rδ = I0RGδ (konstante hjoeddeistige boarnebrêge).

Wêr't I0 konstante hjoeddeistige boarnestroom is en e konstante spanningsboarnespanning is.De útfierspanning fan 'e piezoresistive brêge is direkt evenredich mei de strain (ε) en hat neat te krijen mei RT feroarsake troch de temperatuerkoëffisjint fan ferset, dy't de temperatuerdrift fan' e sensor sterk ferminderet.De meast brûkte semiconductor druk sensor is in sensor foar detecting floeistof druk.De haadstruktuer is in kapsule makke fan monokristallijn silisium (lykas werjûn yn figuer 2).It diafragma wurdt makke yn in beker, en de boaiem fan 'e beker is it diel dat de eksterne krêft draacht, en de drukbrêge wurdt makke op' e boaiem fan 'e beker.De ring sokkel is makke fan itselde silisium single crystal materiaal, en dan is it diafragma bûn oan it sokkel.Dit soarte fan druk sensor hat de foardielen fan hege gefoelichheid, lyts folume en soliditeit, en is in soad brûkt yn loftfeart, romtenavigaasje, automatisearring ynstruminten en medyske ynstruminten.